Китай запустил массовое производство собственных иммерсионных литографов – первые поставки в 2026 году

Государственная компания в Шанхае начала серийное производство иммерсионных литографических машин глубокого ультрафиолета (DUV) и уже в этом году поставит первые экземпляры производителям SMIC, Hua Hong Semiconductor и памяти ChangXin Memory Technologies.

Об этом сообщает издание The Information со ссылкой на двух человек, знакомых с программой.

Планы по выпуску предусматривают около пяти машин в 2026 году и примерно 20 в 2027-м. Все три названных получателя фигурируют в списке китайских компаний, которых законопроект, проходящий сейчас через Конгресс США, лишит доступа к продажам и обслуживанию оборудования ASML на законодательном уровне.

The Information не назвало производителя, однако источники описали структуру как объединившую команды разработчиков DUV из нескольких китайских компаний. Одной из них называют государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology.

SMIC тестирует иммерсионный инструмент Yuliangsheng с сентября 2025 года. Большинство компонентов в новых системах отечественные, хотя часть критически важных деталей по-прежнему поступает из Японии, а задержки у местных поставщиков сдержали объёмы производства в этом году.

Резолюция Палаты представителей США под номером 8170 официально относит SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei и YMTC к организациям с ограничениями. Трое из этих пяти и стали первыми покупателями отечественного сканера.

Закон MATCH Act, внесённый в апреле, был вынесен на рассмотрение комитета Палаты представителей по иностранным делам 22 апреля, а в Сенате зарегистрирован его аналог под номером S. 4281. Положения об иммерсионных DUV охватывают обслуживание и техническую помощь, а не только новые поставки, что распространяет их действие на уже установленные и работающие в китайских фабах инструменты.

Эти фабы последние два года наращивали свой парк оборудования за счёт обновлений через вторичные каналы. ASML рассчитывает отгрузить около 130 иммерсионных систем в 2026 году, что соответствует показателю 2025 года.

ASML намерена "увеличить производственные мощности на 30% в 2027 году" для иммерсионного оборудования и изучает возможность ещё одного прироста на 30% в 2028-м. На Китай в этом году приходится около 20% чистых продаж ASML, что ниже прошлогодних 33%, и снижение вызвано в основном спросом на массовую логику.

Иммерсионная DUV печатает элементы класса 28 нм за одну экспозицию и достигает 7 нм через мультипаттернинг, ценой ошибок совмещения и снижения выхода годных.

Китай создал уникальный спутник-шпион благодаря монополии на редкий металл

Первый в мире турнир по боям человекоподобных роботов прошел в Китае и закончился оторванной головой

Независимый анализ проекта AI Futures Project, опубликованный в июне, относил коммерчески масштабное производство китайской иммерсионной DUV к середине 2030-х, при доле ASML на иммерсионном рынке в 98,7%. Квалификация новых машин для производственных линий может занять многие месяцы, и они уступают инструментам ASML по производительности и качеству сборки.

Собственная китайская программа EUV, о рабочем прототипе которой Reuters впервые сообщило в декабре, остаётся в перспективе нескольких лет.